Process
工程の概要
ベーク工程はレジストの硬化、溶剤の揮発、薄膜応力に影響します。当社は日系 KE と TAZMO の 2 社を取り扱い、ベーク工程装置（ホットプレート等）の販売とメンテナンスを提供します。
Brands
取扱ブランド
日系メーカーの正規ルートで、販売とメンテナンスを一体で提供します。
KE
ベーク工程装置
販売 / メンテナンス
TAZMO
ベーク工程装置
販売 / メンテナンス
Specifications
装置仕様表
各ブランドの主力機種カテゴリの概要です。詳細な仕様はお見積りとあわせてご提供します。
| 機種カテゴリ | 対応ノード | 主要仕様 |
|---|---|---|
| KEベーク工程装置 | 全ノード対応 | 温度均一性とプロファイル制御は機種構成によります |
| TAZMOベーク工程装置 | 全ノード対応 | 温度均一性とプロファイル制御は機種構成によります |
AI Integration
AI 統合
2024–2026 年に公開された代表的モデルをベンチマークし、装置導入とあわせて提供します。
TTSV-HMO
2.5D 電熱協調の等価モデル＋ハイブリッドメタヒューリスティクス（PSO+SA）
温度 MAE 0.35%、インピーダンス 3.97%
熱プロファイルのデジタルツイン
ベーク温度プロファイルのリアルタイムマッピングと偏差アラート
熱プロセスの変動を早期に検出
Service Flow
サービスフロー
調達から検収まで、単一窓口が全工程に責任を持ちます。
- 1調達
- 2解体
- 3輸送
- 4据付
- 5検収
この工程の装置リストとお見積りをご請求ください
ベーク工程（Bake）の新品・中古装置の評価、仕様確認、解体・据付と輸送のお見積りを承ります。お気軽にメールでお問い合わせください。