Process
工程の概要
洗浄工程はウェーハ表面のパーティクルと金属汚染を制御する、歩留まりの見えない守り手です。当社は日系 DNS と TEL のウェーハ洗浄装置の販売とメンテナンスを提供します。
Brands
取扱ブランド
日系メーカーの正規ルートで、販売とメンテナンスを一体で提供します。
DNS
ウェーハ洗浄装置
販売 / メンテナンス
TEL
ウェーハ洗浄装置
販売 / メンテナンス
Specifications
装置仕様表
各ブランドの主力機種カテゴリの概要です。詳細な仕様はお見積りとあわせてご提供します。
| 機種カテゴリ | 対応ノード | 主要仕様 |
|---|---|---|
| DNSウェーハ洗浄装置 | 全ノード対応 | パーティクルと金属汚染の制御は機種構成によります |
| TELウェーハ洗浄装置 | 全ノード対応 | パーティクルと金属汚染の制御は機種構成によります |
AI Integration
AI 統合
2024–2026 年に公開された代表的モデルをベンチマークし、装置導入とあわせて提供します。
TSMC スマート製造
RNN＋連合学習による FDC 時系列の異常検知
歩留まり影響予測 約92%、流出率 -15%
PDNNet
GNN＋CNN のヘテロジニアス構成による動的 IR 解析。プロセスと電気特性の相関解析に対応
NMAE を 39.3% 改善、545× 高速化
Service Flow
サービスフロー
調達から検収まで、単一窓口が全工程に責任を持ちます。
- 1調達
- 2解体
- 3輸送
- 4据付
- 5検収
この工程の装置リストとお見積りをご請求ください
ウェーハ洗浄（Clean）の新品・中古装置の評価、仕様確認、解体・据付と輸送のお見積りを承ります。お気軽にメールでお問い合わせください。