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BETTER SCIENCE TECHNOLOGY

先端プロセス装置 × AI をワンストップで

主要9プロセス装置の調達、解体・据付と輸送、技術導入、人材育成 —— 最先端の人工知能を組み合わせ、業界をリードします。

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9+

主要プロセス装置工程

20+

日系メーカーブランド

20+ 件

ベンチマーク AI モデル導入

HK

香港拠点で大中華圏をカバー

AI Solutions

すべての装置に、AI の頭脳を

デジタルツイン Digital Twin

装置チャンバーと生産ラインをリアルタイムに仮想マッピングし、予知保全と実機・仮想の校正を支援します。

物理シミュレーション Physics-informed Simulation

DeepONet / PINN の代理モデルにより、大量のシミュレーションデータなしで熱・IR・EM の挙動を推論します。

LithoDreamer・ILT

生成 AI によるリソグラフィモデルと逆リソグラフィ技術で、先端ノードの OPC 要件に対応します。

AI 技術の全体像を見る →

98.39%

ウェーハマップ欠陥分類 Accuracy

G2LGAN+CNN

0.035%

熱シミュレーション MAPE

DeepOHeat-v1・学習 62× 高速化

-55.06%

ATPG バックトラック削減

InF-ATPG

-25%

テスト時間

GPU リアルタイム適応型テスト

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