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9+
主工艺设备段
20+
日系原厂品牌
20+ 项
对标 AI 模型导入
HK
香港据点服务大中华
Equipment
九大主工艺设备
从光刻到掩模版，覆盖先进制程每一关键段落，皆由日系原厂设备与 AI 应用双轨支撑。
AI Solutions
每台设备，都有 AI 大脑
数字孪生 Digital Twin
设备腔体与产线的实时虚拟映射，支持预测性维护与虚实校正。
物理仿真 Physics-informed Simulation
DeepONet / PINN 代理模型，无需大量仿真数据即可推理热、IR、EM 行为。
LithoDreamer·ILT
生成式光刻工艺模型与逆光刻技术，对接先进节点 OPC 需求。
98.39%
晶圆图缺陷分类 Accuracy
G2LGAN＋CNN
0.035%
热仿真 MAPE
DeepOHeat-v1·训练加速 62×
-55.06%
ATPG 回溯减少
InF-ATPG
-25%
测试时间
GPU 实时自适应测试
Services
服务项目
从设备离厂到量产爬坡，一条龙陪伴每一台设备的完整生命周期。
日系合作品牌
- NIKON
- CANON
- TEL
- DNS
- SAMCO
- KE
- MATSUSHITA
- TAZMO
- ULVAC
- NISSIN
- EBARA
- ACCRETECH
- ADVANTEST
- LASERTECHNIK
- NUFLARE
- JEOL
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