Process
工艺说明
刻蚀段决定图形转移的最终轮廓与侧壁质量。我们代理日系 TEL 与 SAMCO 的刻蚀设备，提供从采购、装机到维护的完整服务。
Brands
代理品牌
日系原厂正式渠道，销售与维护一体服务。
TEL
等离子刻蚀设备
销售 / 维护
SAMCO
刻蚀与表面处理设备
销售 / 维护
Specifications
设备规格表
各品牌主力机型类别概览，完整规格随报价提供。
| 机型类别 | 适用节点 | 关键规格 |
|---|---|---|
| TEL等离子刻蚀设备 | 28nm–3nm | 刻蚀选择比与均匀性依腔体配置 |
| SAMCO刻蚀与表面处理设备 | 28nm–3nm | 刻蚀选择比与均匀性依腔体配置 |
AI Integration
AI 整合
对标 2024–2026 公开发表的代表模型，随设备导入。
TSMC 智能制造
RNN（时序 FDC）＋联邦学习，解析腔体传感器时序数据
良率影响预测 ~92%（28–3nm）、逃逸率 -15%
数字孪生腔体仿真
刻蚀腔体状态实时虚拟映射，支持预测性维护
非计划停机时间下降
Service Flow
服务流程
从采购到验收，单一窗口全程负责。
- 1采购
- 2拆装机
- 3运输
- 4装机
- 5验收